循環流体温度コントロール
Control of temperature of circulation fluid
- CVD・PVD・プラズマエッチング・アッシング・スパッタリング装置向け温度コントロール
- レジストコーター・ベーキング・デベロッパー装置向け温度湿度コントロール
- ウェットステーション各種薬液・超純水等プロセス流体向け間接温度コントロール
- MOCVD成膜ケミカル等の蒸気圧コントロール装置
- E-beam & Stepper用恒温チャンバー
- ウェハ・マスク用プリベーク＆ポストベーク装置
高純度試料向けベッセル
Vessel for High Purity Gas
- 各種成膜用薬液、高純度試料等充填ベッセル
- 温度コントロール機能付きベッセル
- 研究開発向けパイレックスガラス製ベッセル
- 変換継手・センサー・バルブ・マニホールド等自動溶接
- 他TIG・YAG溶接
光ピックアップ関連装置
Optical pickup Device
- 光ピックアップ・トラバースユニット組立装置
- 光ピックアップ・トラバースユニット調整装置
- 光ピックアップ・トラバースユニット検査装置
- 他、研究開発パイロットライン向け単機能装置・複合機能装置
流体制御・計測機器
Fluid control and measurement equipment
- 冷凍サイクル：膨張弁・電磁弁・製水弁・圧力調整弁・電動弁・コンプレッサー・プレート熱交換器・ファン
- 気体サイクル：ガスフィルター・ガスピュリファイヤー・圧力計・バルブ・流量計
- 液体サイクル：リキッドフィルター・流量計・圧力計・液面計・濃度計・比抵抗/導電率計
- 流体機器アッセンブリ・カスタマイズ・データ無線監視ネットワークシステム
取り扱いメーカー
